高精度加热台，精密热板

高精度加热台，精密热板用途

  精密热板用于固化光刻胶，固化环氧塑脂，可用于显微镜下使用以及其它需要高精度控温的场合等。适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路模块的涂敷烧结和考核等工艺。

高精度加热台，精密热板技术性能

整体外形尺寸：依尺寸变化

加热面积尺寸：160*160/220*220/500*260（mm）等，可定制

温度分辨率 ：0.1℃          

温度均匀性：±0.5/±1/±1%℃

电源输入：AC220V          

加热功率：1500W....

控温范围：RT-200/300/400/500/600/700℃                        

盖内高度：27MM，可定制

加热面板材料：阳极铝合金/陶瓷面板

高精度热板特点

结构小巧，精度高；

升温迅速稳定可靠；

透明窗便于观察。

坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱概述
      无尘烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱特点
1、 烤箱用于半导体车间100级生产线；
2、 设备能够实现对CASETTE内硅片烘烤工艺；
3、 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
4、 开机后墙体内一直处于恒温状态；
5、 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度；

6、操做人员放入产品后关门，点击开始按钮即可一键完成菜单工艺，完成后伴有声光提示。

坚膜无尘烤箱，半导体无尘烘箱技术参数
1、 无尘等级：Class 100;    
2、 温度均匀度：±2℃;    
3、 温度波动度：±0.5℃（空载）；        
4、 温控精度：±0.1℃;
5、 温度范围：RT+10-200/300℃;

6、 升温速率：

≥8℃/min（可修改）；

7、 内腔材质：SUS304

＃镜面不锈钢；

8、 外箱材质：优质冷轧板喷塑或

SUS304＃不锈钢；
9、 密封条：耐高温氟橡胶密封条；

10、氮气装置：可调式浮子流量计；

11、安全装置：漏电保护，超温保护，三色提示灯等。