晶圆热电偶测温系统 光刻晶圆温度测量系统

晶圆热电偶测温系统 光刻晶圆温度测量系统

TC Wafer是什么？

TC Wafer 是温度传感器直接镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布：同时可以实时监控控温过程的温度变化，实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

智测电子生产研发的TC-Wafer晶圆温度传感器，其温度范围广泛，智测电子的产品设计考虑到了用户的实际需求，传感器引线可定制，且采用了硅基胶粘剂和焊接技术，使其具有更好的性能和可靠性。

总之，智测电子的高精度温度传感器不仅在技术上具备优势，而且在服务方面也能够为用户提供专业的解决方案。无论是在半导体装备、航空航天、智能制造、高校实验室、计**所、生物技术等行业，智测电子都能够为用户提供高品质的产品和服务，满足用户对高精度测温的需求。

产品特点

高精度：由于其直接嵌入在晶圆表面，可以实现对晶圆温度的实时、精确监测。

可靠性：传感器材料稳定，适应长期运行，不易受到外界干扰。

高灵敏度：微小的温度变化也能被传感器准确地捕捉，确保制程的稳定性。

即时性：传感器的实时性能使得生产线上的温度调整能够迅速响应，减少生产过程中的温度波动。

产品应用

晶圆热处理：在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行精确的温度控制，以确保所需的材料性能和结构。

晶圆降温：晶圆从高温状态降温时，需要监测温度变化，以避免温度梯度引起的应力和热应力。

薄膜沉积：在薄膜沉积过程中，温度的精确控制可以影响薄膜的厚度、均匀性和质量。

等离子体刻蚀：温度变化可能会影响刻蚀速率和表面质量，因此需要实时监测和控制温度。

晶圆热电偶测温系统 光刻晶圆温度测量系统

等离子蚀刻晶圆温度测量系统