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4轴机械臂防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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更新时间:2024-06-12

有效日期:还剩85

产品详情

防水4轴圆柱坐标型机械手臂特点: 


防水4轴圆柱坐标型机械手臂STWCR4000系列(配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构)

能够在酸性,碱性雾气环境下搬运半导体晶圆

机械手臂标准臂长:160 mm、200 mm

手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式

可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供的手指


防水4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

双臂

到达距离

315mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

300mm

可搬运质量

3kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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