主要规格
它是一种高性能荧光X射线测量设备，配备多毛细管透镜，专门设计用于自动测量晶片的膜厚和材料分析。
| 模型 | XDV-μ晶圆 |
|---|
| 测量元件范围 | 铝 (13) -U (92) |
|---|
| X射线探测器 | 硅漂移探测器 (SDD) |
|---|
| X射线管 | 微调焦管 |
|---|
| 初级过滤器 | 4种（可切换） |
|---|
| X射线光学系统 | 多毛细管透镜 Φ20µm（选项 Φ10µm） |
|---|
| 车身尺寸 | 680 x 900 x 690mm（宽x深x高） |
|---|
| 晶圆尺寸 | 兼容 6、8 和 12 英寸 |
|---|
| 能量消耗 | 高达 120W |
|---|
<section class="block_content" id="usage" style="box-sizing: border-box; word-break: normal; word-wrap: break-word; font-family: Roboto, " noto="" sans="" jp",="" "ヒラギノ角ゴ="" pron="" w3",="" "hiragino="" kaku="" gothic="" pron",="" sans",="" 游ゴシック,="" yugothic,="" verdana,="" メイリオ,="" meiryo,="" sans-serif;="" font-size:="" 15px;="" line-height:="" inherit;="" margin-bottom:="" 2.666rem;="" color:="" rgb(34,="" 34,="" 34);="" letter-spacing:="" 0.75px;"="">
