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日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT
| 平板 | 聚酰亚胺、ITO、抗蚀剂、氧化膜、抗反射涂层、PET和玻璃基板上的各种光学膜 |
|---|---|
| 光学镀膜 | 玻璃、眼镜、镜片等的硬质涂层。 |
| 薄膜太阳能电池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
| 模型 | F10-RT -紫外线 | F10-RT | F10-RT -近红外 | F10-RT -近红外 | F10-RT -UVX |
|---|---|---|---|---|---|
测量波长 范围 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 380 – 1050nm |
膜厚测量 范围 | 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
准确性 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | 2纳米 | 1纳米 | |
光源 | 氘· 卤素 | 卤素 | 氘· 卤素 | ||
平板中使用的透明电极ITO的膜厚和折射率的测定例
同时测定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 软件可即时分析薄膜厚度、折射率等。
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