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KEITHLEY吉时利6514型静电计具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。
KEITHLEY吉时利6514型静电计特点：(1)<1fA 噪声;(2)电压测量时，输入阻抗>200TΩ;(3)电荷测量范围：10fC-20µC;(4)速度可达1200个读数/秒;(5)简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器;(6)主动消除电压与电流的偏移。
KEITHLEY吉时利6514型号主要技术指标电流测量 lt;1fA(包含噪声)～20mA。电压测量：10µV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V。电阻测量：10Ω～200GΩ;Z低电阻精度优于1%，Z高电阻精度优于10%;(使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值)。电荷测量：10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20µC。特性插头：3 Slot TriaxIEEE-488：有RS-232： 有Guard ：有CE ：有其它：5 1/2精度，替代6512、617-HIQ。附件：237-ALG-2低噪声三同轴电缆，鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线。
其它：5 1/2精度，内置±1kV电压源。湿度、温度测量。采用交替电压极性法测高阻，可配置多通道的扫描卡。
