日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E-其它计量仪器

产品详情

日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

这是一个新系列的换能器型真空计“G-TRAN系列多离子计”，可以连接不同测量范围的探针。本产品为BA型电离真空计，可测量超高真空。在继承传统压力测量范围宽、运行成本低的理念的同时，我们对其进行了改进，使其更加人性化。

特征

可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。
紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），最小的级别
提高可用性：PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。
产品阵容增强：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）
灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命
压力测量范围广：可测量从大气压到高真空范围（1 x 10 ⁺⁵至 5 x 10 ^-8 Pa）（连接可选单元 SWU10-R 时）
精确的大气压测量：可以检查腔室开口的大气压（连接可选单元 SAU 时）

用途

用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制
用于检查具有许多工艺室的各种制造设备的高真空区域的极限压力，例如在线和单晶片系统。
用于高真空/超高真空设备的压力测量

日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

规格

模型		SH200-A	SH200-R	SH200-E（预定发布）
规格		标准规格	串行通信规范	EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器		M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可连接传感器		多离子规传感器：1 个皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项）大气压传感器 SAU：1 个（选项）
重复性 (N ₂ )		SH200 独立模式：±2%
采样时间		60ms 5次移动平均处理
测量值输出		输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间		60毫秒
控制输入信号		使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑操作 * FIL ON/OFF 信号使用因模式而异	-	-
控制输出信号		传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效，灯丝功率监控额定值：24V _MAX，50mA _MAX，饱和电压 1V	-	-
串行通信规范		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED显示屏		POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
		SET1：设定点1 LED SET2：设定点 2LED SET3：设定点 3LED	-	-
发射电流		1mA（1×10 ^-3 Pa以下）、10μA（1×10 ^-3 Pa以上）
脱气		电子轰击法（电子轰击）1mA，330V
传感器耐压		2×10 ⁺⁵ Pa（绝对压力） *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。
传感器内部容积		17cm3 ^（ M-44）、19cm3 ^（ M-45）、17cm3 ^（ M-46）
工作温度限制		10 至 50°C
工作湿度范围		15 至 80%（无冷凝）
贮存温度		-20 至 65°C（未通电时无冷凝）
知识产权保护等级		IP30
电源电压		20 至 28 VDC（纹波、噪声 1% 或更低）、8 W 或更低
输入/输出连接器		D-sub 15针（M2.6螺丝）
大量的		控制器：约 280g 探头（M-44，M-45）：80g，（M-46）：300g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
符合标准		行政长官
选项	多离子计传感器	M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材质：灯丝 1,2 -Ir/Y ₂ O ₃涂层其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni电镀
	皮拉尼规	SWU10-R *也兼容传统 SPU
	皮拉尼压力传感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端) 材质：灯丝-Pt，其他- BS/Ni、电镀、镍、焊料
	大气压传感器	SAU(NW16) 材质：SUS316L
	单元电缆	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	显示单元	1CH：ISG1（使用DC24V供电）
	显示单元电缆	SH200 和显示单元之间的电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	连接器	输入/输出连接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺丝））
	其他	检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书