大型电子探针显微镜半导体探针台

一、大型电子探针显微镜半导体探针台应用原理：  

（1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最1高可升温到最1高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。  

（2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。  

二、技术组织规格：  

1．腔体材质：304不锈钢  

2．上盖开启：铰链侧开  

3．加热台材质：304不锈钢  

4．内腔体尺寸：φ160x90mm  

5．观察窗尺寸：Φ70mm  

6．加热台尺寸：φ60mm  

7．观察窗热台间距：75mm  

8．加热台温度：-196-350℃  

9．加热台温控误差：±1℃  

10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa  

11．允许正压：≤0.1MPa  

12．真空抽气口：KF25真空法兰  

13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头  

14．电信号接头：SMA转BNCX4  

15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培  

16．探针数量：4探针  

17．探针材质：镀金钨针  

18．探针尖：10μm  

19．X轴移动行程：30mm±15mm  

20．X轴控制精度：≤0.01mm  

21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm  

22．Y轴控制精度：≤0.01mm  

23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm  

24．Z轴控制精度：≤0.01mm  

25．显微镜类别：物镜  

26．物镜倍数：0.7-4.5倍  

27．工作间距：90mm  

28．相机：sony高清  

29．像素：1920※1080像素  

三、企业概括：  

（1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科1学1院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。  

（2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！  

（3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口大型电子探针显微镜半导体探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。  

（4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。