S neox白光共聚焦干涉显微镜

易于使用

Sensofar 致力于为客户提供令人难以置信的体验。随着第五代 S neox 系统的诞生，我们的目标是使其易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量。模块化设计的软件，使系统适应用户多样的需求。

的速度

通过采用新的智能和的算法以及新型相机，达到的速度。数据采集速度达180fps。标准测量采集速度比以前快5倍。S neox 成为市场上速度的表面测量系统。

Sensofar 的四合一方法—只需点击一 次， 系统即可切换到适合当前测量任务的技术。在 S neox 传感器头中配置 三种测量技术—共聚焦、干涉、Ai 多焦 面叠加和膜厚测量这些都为系统的多功 能性做出了重要贡献，并有助于限度地减少数据采集中的噪点。S neox 是 所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛。

表面纹理特征
SO 25178标准是国际标准化组织面向3D面层表面纹理分析的相关国际标准。这是 3D 表面纹理规范和测量中，国际标准，特别是定义了 3D 表面纹理参数及相关规范运算符。根据 ISO25178 和 ISO4287 计算表面参数。计算高度、空间、混合、功能和体积参数。自 2009 年以来，Sensofar一直是国际标准化组织 (ISO/TC213 WG16) 技术委员会的成员。

主动照明多焦面叠加是一种为了测量大粗糙表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。通过使用主动照明，即使在光学平滑的表面上也能获得更可靠的测量数据，这一点已经得到了改进。该技术的亮点包括高斜率表(高达 86º),的速度(3 mm/s）和较大的垂直范围测量。

共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供的横向分辨率，可达 0.15μm 水平分辨率，空间采样可减少到 0.01μm，这是关键尺寸测量的理想选择。高达NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面，可允许 86°。的共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。

薄膜测量技术快速、准确、无损地测量光学透明层的厚度，且不需要样品制备。该系统获取可见光范围内样品的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，对层厚进行修改，直到找到拟合。可以在不到一秒钟的时间内测量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。测量光斑取决于物镜放大率，最小可低至 0.5μm，可达 40μm。

共聚焦测量技术将采集时间稳步减少 3 倍。连续共聚焦模式通过同时扫描面内和 Z 轴，避免了经典共聚焦的离散（耗时）面与面采集。对于减少大面积扫描和大 Z 扫描的采集时间至关重要。

HDR
高动态范围减少高反射表面上的反射和脱落点。

智能噪音检测
S neox 使用检测算法(SND) 检测那些不可靠的数据像素。与使用空间平均的其他技术相比， S neox 在不损失横向分辨率的情况下逐像素处理。

LED光源的优势
用LED做照明光源要比用激光更有优势。首先LED光源可以避免发生激光光源的散斑现象。其次LED光源的使用寿命约50000小时（约25倍于激光）。最重要的是多个LED就意味着可以根据样品的需求选择的波长来测量。

多波长LED光源
SNEOX内置4颗LED光源：红(630nm), 绿(530nm), 蓝（460nm)和白光。短波长的光可以满足需要更高水平分辨率的应用。而长波长的光可以提供更好的光学相干性，可达20um, 使相差干涉可以扫描光滑表面上的大区域。此外，红、绿和蓝光的交替照明还能提升色彩的真实性和还原性。

微分干涉 (DIC) 用于强调在正常观察中没有对比度的非常小的高度特征。通过使用 Nomarski 棱镜，产生了干涉图像，解决了在明视场或共聚焦图像中不可见的亚纳米级结构。

高分辨率
垂直分辨率受到仪器噪声的限制，仪器噪声对于干涉测量是固定的，但共聚焦测量依赖的数值孔径。Sensofar 专有算法以光学仪器的横向分辨率为测量技术提供纳米级系统噪声。所示的形貌是亚纳米 (0.3 nm) 原子层。由 PTB 提供。

高坡度

显微镜物镜的数值孔径 (NA) 限制了光学平滑表面上的可测斜率，而光学粗糙表面或散射表面提供的信号超出了该限制。Sensofar算法设计在光滑表面上测量达 71º(0.95 NA)，在粗糙样品上测量高达 86°。

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