日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000

日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 的详细介绍

　　沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

　　采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能

　　与现有机型相比分辨率提高了20％左右

　　(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

　　采用污染小、高真空样品仓

　　运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

　　极低着陆电压下高分辨观察日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是专门为电子束敏感样品和需300万倍稳定观察的半导体器件，高分辨成像所设计。