极速成像

通过创新的硬件和软件设计，实现二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像2×100M像素/秒，6秒钟即可拍摄一张6亿像素高清图像（区域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相较传统意义扫描电镜，其扫描速度高出一个数量级以上。

高清视频级摄像帧率（2×200帧/秒@512×512，或2×60帧/秒@1024×1024），使其具有实时观测样品动态变化的能力。

高质量成像

SORRIL^TM复合式电磁物镜系统，有效地减小低落点能量下物镜的像差，达到分辨能力（1.5nm @ 1 kV， 1.0nm @ 5 kV）。

与物镜系统复合的静电式扫描偏转系统，相比于传统电镜的磁偏转系统，极大地减小图像边沿畸变，可获得兼具高分辨率和大视野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸变1/1000以下，垂直畸变1/10000以下）的图像。

In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器，双通道同时高速成像，兼具高灵敏度和高信号电子收集效率，即使在n别的大束流条件仍可获得高质量的图像衬度和信噪比。

配备主动补偿系统（激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿），消除环境因素干扰，保证成像高分辨力高质量。

跨尺度大规模成像

高速扫描成像能力，结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法，实现对超大区域（150mm*150mm）样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描，并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像，使之具备了跨尺度信息融合能力，可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征。

智能分析

大数据智能分析 ，海量SEM图像快速生成数据分析报告；

智能图像处理，定制化图像测量、统计、分析。

操作简单

全自动样品载入与导航，一键换样。大视场光学成像导航与SEM成像无缝衔接，对区域快速准确实现定位和观测。

7*24小时全自动化无人值守运行能力。