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MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
| 点直径* | 大约10um | ||
| 频率响应范围* | DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz | ||
| 测量速度范围 | 法向* | 50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s | |
| 切向* | 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s | ||
| 滤波设置 | 高通、低通滤波设置 | ||
| 显微镜 | |||
| 目镜 | 放大倍率 | W.D | 光束直径 |
| 5X | 34mm | 30um | |
| 10X | 34mm | 20um | |
| 20X/50X | 20mm/13mm | 10um/2um | |
| X-Y平台 | |||
| 尺寸 | 100X100mm | ||
| 移动范围 | +/-10mm | ||
| 分辨率 | 0.001mm | ||
*可根据客户要求，并可为客户定制
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