膜厚测量仪

显示器、触摸屏、太阳能电池、R2R 光学镀膜等产业的薄膜厚度测量

光学材料参数测量、彩色滤光片色度及穿透率测量。(如：Oxide, Nitride,

ITO, RGB CF, PR, PI…@ Si, Glass, PET…等样品)

技术参数：

1.厚度测量范围：10 nm ~ 30 μm (采用Ocean Optics 光谱仪)

(Optional: up to 250 μm)

2.厚度测量重复性：< 1 nm @ 500 nm Oxide on Si

3.测量点大小 : Macro(~3 mm)

(Optional 选项加显微镜 : 10 μm – 3 mm)

4.测量时间：< 1 sec

5.其它功能：折射率(n)及消光系数(k)测量

反射率(R)及穿透率(T)测量

色度参数(x, y, Y, L*, a*, b*)测量

(Optional:在线检测、实时8-16 通道测量)

6. 机台尺寸：长宽高约31*27*30 (cm)。