TESCAN扫描电镜LYRA 3 GM

分析潜力

• 高亮度肖特基发射可获取高分辨率、高电流和低噪声的图像
• 可选配超高分辨率的In-Beam二次电子探头
• 的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN可优化电子束光阑的中间镜设计
• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化
• 成像速度快
• 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可获得高分辨率（选配）
• In-Beam背散射电子探头提供小工作距离下的BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品的分析
• 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控
• 的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）
• 由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式真空泵，因而可以快速简单的得到干净的真空样品室。电子枪的真空由离子泵维持。
• 全自动设置的显微镜包括了电子光路设置和合轴功能
• 网络操作和内置远程控制/诊断软件为标配
• 3维电子束技术提供了实时立体图像
• 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa，用于观测不导电样品
• 的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应非常低
• 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器
• 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒
• 在高束流下，选配的Cobra聚焦离子束提供了超高的分辨率和的性能
• FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化
• 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图片的获取、存档、处理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH
装有马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室电镜，适用于在高真空模式下对导电样品的分析。

LYRA3 GMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。