日立热场发射扫描电镜

日立热场发射扫描电镜SU70型采用高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合>析(需要大探针电流)和高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。

一、日立热场发射扫描电镜SU70型的特点
1.100nA的大探针电流
开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
预留了多种接口，可以安装以下附件进行
分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,低温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模s)，高分辨率的获得利用了日立
已被检验的半内透镜技术。
5. ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

二、日立热场发射扫描s镜SU70型的技术规格
1. 二次电子图象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
2. 放大倍数
低放大倍数模式20-2,000x
高放大倍数模式100-800,000x
3. 电子光学
电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪
电流 1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统 3级电磁线圈系统
物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调
4. 样品台
样品台控制 5轴马达控制
移动范围
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -5O-+700
R 360O
样品尺寸 直径150mm(标准)；() 直径200mm(可选)
5. 探测器
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X射线能谱仪(可选)
X射线波谱仪(可选)
EBSP探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)