产品详情
配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型可以提供200nA的探针电流,并且配置了VP功能,可以满足不导电样品的无蒸镀观测。
配有VP功能的新型某∩璧缇袋/strong>SU6600型的特点
1.200nA的探针电流,可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能,可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头,可选配ESED
4.大型分析型样品室,可方便的安装多种分析附�
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台
配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600型技术参�
二次电子分辨率:1.2nm @ 30KV,3.0nm @ 1KV,4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率:3.5nm @ 30KV
放大倍率:10~600,000(输出尺寸127x96mm)
电子枪类型:热场发射
探针电率:1pA~200nA
加速电压:0.5~30KV
物镜光阑:自清洁、4孔可动式
束闸:电磁式
样品台:电脑控制的5轴优中心马达样品台
X:0~110mm
Y:0~110mm
Z:4~40mm
T:-5°~+70°
R:360°
样品尺寸:直径150mm x 高40mm
探头:二次电子探头
背散射电子探头
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