DVIA-MO系列主动隔振光学平台

DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台为韩国DAEIL（大一）株式会社生产的主动隔振光学平台，由台面和主动隔振支撑两部分组成。
台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为热形变系数很小的430 系列高导磁镍合金不锈钢，台面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用的粘合工艺，坚固耐用。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料，具有非常优秀的动态和静态的刚性。
主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M，每个支撑里面一般会有4 个DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除0.5-10Hz 的外部振动, 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪、高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

主动隔振光学平台DVIA-MO系列特点：
 

•具有非常优良的隔振性能，特别是在低频0.5Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率；

•采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿；

•采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm；

•进口精密主动隔振光学平台；

•隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等

细节说明： 

 

应用案例

光学平台隔振性能参数：

主动隔振光学平台DVIA-MO系列技术指标：
 

• 固有频率：0.5-100Hz

• 自动平衡，相应时间短，平衡速度快

• 钢制真蜂窝结构,：0.25mm厚箔

• 蜂窝芯尺寸 ：3.2cm2 (0.5 in²)

• 表面平整度：±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)

• 上台面 ：4mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢

• 下地面 4.5厚碳钢，表面氧化处理

• 边墙板 2.0mm厚碳钢。包裹高阻尼聚乙烯材料

• 孔径： M6 (英制螺孔可选)

• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，*外边孔距平台边缘37.5mm

• 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁

• 阻尼隔振方式：宽带阻尼
 

DVIA-M系列主动隔振器参数表：