材料物理&材料制备系列DH-500ZZS型 箱式电子束蒸发镀膜机

    该镀膜机为前开门箱式电子束蒸发镀膜设备，该镀膜机功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。适用于制备导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。

　　镀膜机的真空室材料均采用优良材质SUS304 不锈钢材料制造，工艺规范、精致，具有高真空度、高清洁度，可以保证材料的成膜纯度。

　　采用大抽速的变频控制分子泵+直联机械泵机组，具有抽速快、无油、操作方便快捷、易于维护的特点。配备270°E型电子束蒸发源，电源稳定，控制精度高，带有高压自动灭弧复位装置，操做简便，性能可靠。

　　适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。

◆ 镀膜室体积：500mmX500mmX600mm；

◆ 极限真空度：6.7X10-5 Pa，恢复真空：从大气抽至6.7X0-4 Pa （40分钟）；

◆ 真空抽气系统：机械泵与分子泵组成；

◆ 真空测量系统：数显复合真空计；

◆ 蒸发源：电子束蒸发源：E型电子枪，功率0～6KW可调；电阻蒸发源：功率3kW/10V两组；

◆ 工件烘烤温度：室温～350℃可控可调（PID控温）；

◆ 选配件：光学膜厚测量仪、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等；

◆ 供电电源：三相AC380V，50Hz。

◆ 特殊规格可定制。