材料物理&材料制备系列DH-900DZX 箱式多弧磁控镀膜机

    该镀膜机可镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属，也可镀制合金膜或化合物，也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬质或装饰涂层，具有镀膜速度快、膜层质量好的优点。

◆真空室：镀膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前开门结构；

◆抽气系统：机械泵：前级泵70L/S；维持泵：2X-8旋片泵；罗茨泵：ZJP-150；

  扩散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（选配）；

◆极限真空：5×10-4Pa；恢复真空：5×10-3 Pa（小于20min）；

◆镀膜系统：平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源；小弧源/柱弧源；

◆ 辅助镀膜系统：脉冲偏压电源，条形离子源（选配）；

◆ 膜厚测量系统：石英晶体膜厚监控系统（选配）；

◆ 进气系统：自动压强控制+多路质量流量控制系统；

◆操作方式：手动按键式；控制系统配置：研华工控机，80G硬盘，512内存+日本三菱PLC；10英寸液晶显示触   摸屏界面；

◆ 旋转夹具：公转/自转夹具，速度从 0～15r/min 无级可调；

◆ 工件烘烤：室温～300℃；

◆ 供电电源:  三相380V，50Hz。

◆ 特殊规格可定制。