FEI Quattro扫描电镜

Thermo Scientific? Quattro? 扫描电镜将成像和分析的全面性能与的环境模式（ESEM）相结合，使得样品研究得以在自然状态下进行。

如今，研究型实验室普遍要求现代的扫描电镜可以适应多种多样

的样品分析需求，希望在获得出色的图像质量的同时尽可能简化

样品制备过程。Quat t r o 的场发射枪（FEG）确保了优异的分辨

率，通过不同的探测器选项，可以调节不同衬度信息，包括定向背散

射、STEM 和阴极荧光信息。来自多个探测器和探测器分区的图像可以

同步采集和显示，使得单次扫描即可获得各种样品信息，从而减低束敏

感样品的束曝光并实现真正的动态实验。

Quattro 的三种真空模式（高真空、低真空和 ESEM?）使得系统极

具灵活性，可以容纳任何 SEM 可用的泛的样品类型，包括放

气或者是与真空状态不相容的样品。此外，ESEM?可以在现实世界

的条件下对样品进行原位研究，例如湿/潮湿、热或反应性的环境。

Quattro 的分析样品仓可以满足日益增长的样品元素信息及晶体结构分

析需求，它同时支持相对的双能谱（EDS）探测器、共面能谱（EDS）/电子

背散射衍射（EBSD）和平行束波谱（WDS）探测器。无论什么类型的样

品，在高真空下或与 Quattro 支持的实验条件相结合，无论样品导

电、绝缘、潮湿或是在高温条件下，均可获得可靠的分析结果。

由于多用户设施要求大量操作人员都能获得所有相关数据，同时尽可能

缩短培训时间，所以易用性是至关重要的。Quattro 的硬件由帮助功

能（用户向导）支持，不仅可以指导操作者，还可以直接与显微镜进行交

互。并且通过“撤消（Undo）”功能，鼓励新手用户进行实验，而专家用户

可以轻松缩短结果获取时间。

主要优势

在自然状态下对材料进行原位研究：具有环境真空模式（ESEM）的高分辨率场发射扫描电镜

缩短样品制备时间：低真空和环境真空技术可针对不导电和/或含水样品直接成像和分析，样品表面无荷电累积

在各种操作模式下分析导电和不导电样品， 同步获取二次电子像和背散射电子像

安装原位冷台、珀尔帖冷台和热台，可在-165°C 到 1400°C 温度范围内进行原位分析

的分析性能，样品仓可同时安装三个 EDS 探测器，其中两个 EDS端口分开 180°、 WDS 和共面 EDS/EBSD

针对不导电样品的分析性能：凭借“压差真空系统”实现低真空模式下的精确 EDS 和 EBSD 分析

灵活、精确的优中心样品台，105°倾斜角度范围，可观察样品

软件直观、简便易用，并配置用户向导及 Undo（撤销）功能，操作步骤更少，分析更快速

全新创新选项，包括可伸缩 RGB 阴极荧光（CL）探测器、1100°C 高真空热台和 AutoScript（基于 Python 的脚本工具 API）