WOP激光微加工一体化研发平台FemtoLAB

FemtoLAB 是一款飞秒激光微加工工作站。需要为各种任务定制解决方案的科学实验室和研发部的好选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的组合激光微加工工艺，可执行多种应用。

• 制造具有亚微米分辨率的复杂物体
• 高速高精度微加工
• 光束传输和功率控制效率高
• 工业级飞秒激光器
• 高性能检流计扫描仪
• 物体运动与激光脉冲时空同步
• 的软件界面控制所有硬件单元

• 产地：立陶宛
• 推荐材料：所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。
• 激光：高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光
• 样本量：兼容 160 mm x 160 mm 的设计
• 最小特征尺寸：200纳米
• 定位系统：XYZ 机械轴，定位精度 +- 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化
• 扫描系统：适用于所有激光波长的振镜系统
• 样品处理：手动与自动对齐
• 尺寸（长 x 宽 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
• 重量：1100kg
• 电源：2x 220 VAC, 16 A