产品详情
设备简述/Equipment Brief
安装尺寸 | W4200×L8000×H4600mm | 腔体尺寸 | W1300×L1300×H1500mm |
装载 | 10 轴自转Ф150×H890mm | 多弧源 | 6×Ф100 弧源, 1号腔体 |
溅射 | 8×Ф70圆柱阴极 | 真空范围 | ATM-6X10-4 Pa |
离子清洗 | 偏压清洁,腔体1
| 真空隔离 | 插板阀 ,W720×H1100 |
镀膜节拍 | 30-60分/批次 | 电源 | 380V 50Hz |
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