产品详情
设备简述
5.很好的薄膜均匀性和重复性
炉体尺寸 | φ1900*H1300 | 有效空间 | φ1600*H1000 |
工件直径*数量 | φ175*20 | 标准配置 | 阴极弧8个/中频圆柱靶6对 |
工作电压/频率 | 380V/50Hz | 实际功率 | 120KW |
应用技术 | ZP+ARC(选配) | 靶材数量 | 圆柱靶12个/弧靶8个 |
极限压力 | 5.0×10-4Pa | 漏率 | <10-3Pa.L/s |
抽气时间 | 大气到4X10-3 < 25分钟 | 真空系统 | 分子泵、罗茨泵、旋片泵 |
标准涂层效果 | IP黑,玫瑰金,IP金,宝石蓝,香槟金,炫银,咖啡色,七彩,枪黑色,锆金,玫瑰红等 | 电源类型 | 直流叠加脉冲偏压电源、中频磁控溅射电源、专用真空弧电源 |
工件转架结构 | 下转架结构 | 真空室结构 | 立式单开门 |
生产周期 | 1.5-3.5小时/炉 | 外围尺寸 | L3600*W3200*H2600mm |
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化 | 配套条件 | 循环水压力:2-3KG/CM3 |
工业PC+工控软件+PLC | 水量:10T/H | ||
自己开发的镀膜专用控制软件 | 压缩空气:4-6 KG/CM3 | ||
工作气体 | Ar、N2、O2、C2H2等 | 应用 | 装饰类产品镀膜 |
备注 | 真空室尺寸,外围尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,以上信息仅供参考。 |
*您想获取产品的资料:
个人信息: