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SINTAIKE STK-6050落地式高级自动晶圆减薄贴膜机

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更新时间:2024-06-12

有效日期:还剩82

产品详情

STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点


4” -  8”晶圆适用

设计的滚轮贴膜

自动胶膜进给及贴膜

手动晶圆上下料

自动切割胶膜,省力

蓝膜、UV 胶膜可选

PLC+触摸屏

配置光帘保护功能,和紧急停机按钮

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控


STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机性能


晶圆收益

≥99.9%

贴膜品质

没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)

Cycle Time:

≤ 45 秒(不包含上料/下料时 间)

MTBF

>168小时

MTTR

<1小时

停机时间

<3%

更换产品时间:

≤ 10 分钟

STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机参数


晶圆直径:

4”-  8”晶圆

晶圆厚度:

100~750 微米

晶圆种类:

硅,  砷化镓或其它材料/单平边,双平边,V 型缺口;

膜种类:

蓝膜或者 UV 膜

贴膜方法:

滚轮贴膜

晶圆台盘:

接触式晶圆台盘

晶圆台盘加热:

可达 120℃ (对应接触式台盘,可 选

晶圆放置精度:

X-Y:  +/- 0.5 毫米; Θ  : +/- 0.5°;

装卸方式:

手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测;

防静电控制:

去离子风扇

切割系统:

自动刀

控制单元:

基于 PLC 控制,10.4”触摸屏

电源电压:

单相交流电 220V,10A;

压缩空气:

60  PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5  立方英尺

灯塔:

三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测

安全:

配置安全光帘和紧急停机开关;

体积:

950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高)

净重:

300 公斤


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上海衡鹏企业发展有限公司

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主营产品:
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其他

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