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热机械分析仪(Thermal Mechanical Analyzer) 为材料科学最基本的测量工具之一。TMA能测量出各种不同材质样品非常微量的尺寸变化、应力应变、潜变复原与机械黏弹性等多种数据。举凡是材料，其膨胀收缩、尺寸安定性的测量，进一步到复合材料如电路板的剥离、电子芯片封装、材料曲翘等现象，各种材料尺寸会随温度而变化的产品，经由TMA获得的材料特性对于各种产品设计及制程都能提供极为重要的测量信息。
| 温度范围 | RT to 1500℃ |
|---|---|
| 升温速率 | 0.01 to 100℃/min |
| Tube | 陶瓷、石英 |
| Probe | 陶瓷膨胀 石英膨胀（~1000℃） 石英穿刺（~1000℃） 石英拉伸（~600℃） 石英拉伸（~500℃） |
| TMA 量测范围 | ±5mm |
| RMS噪声/敏感度 | 0.005um/0.01um |
| 施力范围/分辨率 | ±1.47N/9.8uN |
| 样品尺寸 | 膨胀：D 10 x L 25mm |
| 样品长度量测 | 自动量测 |
| 应力控制模式 | Constant：+/- 5.8N Constant rate loading：9.8 x 10-2 to 9.8 x106 mN/min Sinusoidal loading：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
| 应变控制模式 | Constant：+/- 5000um Constant rate strain loading：0.01 to 106 um/min Sinusoidal strain Control：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
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