TM3030 型扫描电子显微镜-扫描电子显微镜

产品详情

TM3030 型扫描电子显微镜

一、用途

Hitachi TM3030型扫描电子显微镜(SEM)向来被广泛用于生物、材料、化学、物理等各种不同领域的表面观察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花费大量时间在样品制备和电镜的操作上。

为此，日立在原有的，已受到广泛好评的TM-1000的技术上，精益求精，研发出结构更紧凑、功能更齐备、操作更简便的TM-3000台式扫描电子显微镜。通过简单的操作，即可达到观察微观世界的目的。

二、技术规格

项目	内容
放大倍率	15X～30,000X(数字放大：2X、4X)
观察模式	标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式
图像模式	形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像
电子光学系统
电子枪	预对中发夹型钨灯丝
加速电压	5kV、15kV 、EDX
透镜系统	3级电磁式透镜会聚系统
电位移	±50μm (WD=4.5mm、观察条件：标准模式)
能谱分析位置	WD=10mm, TOA=35°
样品台
样品台控制	2轴手动样品台
样品可移动范围	X：±17.5mm、Y：±17.5mm
*大样品尺寸	直径70mm
*大样品厚度	50mm
检测器	高灵敏4分割半导体背散射电子检测器
真空系统
自动控制系统	全自动气动阀控制系统
*高真空度	1.5×10-5Pa
可变真空度	6~270Pa(22steps)
涡轮分子泵	30L/s 1台
隔膜泵	1m3/h 1台
真空计	1台
自动功能
自动灯丝饱和	已配备
自动电子束设定	已配备
自动电子枪对中	已配备
自动合轴	已配备
自动聚焦、消像散	已配备
自动亮度、对比度	已配备
自动保护功能	带有过电流保护功能、漏电遮断器
计算机控制系统
操作系统	Microsoft Windows® 7
CPU	Intel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC)
内存容量	2GB以上
接口与端子	USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网)
观察	15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素
控制	鼠标、键盘
扫描速度
TV扫描	640×480象素显示，25帧/秒
快速扫描	全屏显示，6.3帧/秒
慢速扫描	全屏显示，1/4/20/40/80秒/帧 640×480像素显示，0.5/2/10/20/40秒/帧
图像数据存储
图像存储像素	640 × 480、1,280 × 960像素
图像数据保存	PC带硬盘及其他记录媒体
图像存储格式	BMP、TIFF、JPEG
图像信息	微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离
辅助功能	图像旋转、简单测量、三维动画维护指南
使用环境
室温	15°C ～30°C
相对湿度	40%～70%
电源	单相AC100～240V(低90V、高250V) 50/60Hz、3P插座
地线	D类接地，电阻小于100Ω
体积与重量
主机	330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)
隔膜泵	145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg