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扫描电子显微镜 (SEM) 不仅是开展科研工作所的工具，对于需要品控的制造工厂也是的。 在这些场景中，用户需要重复执行相同的观察操作，因此快速完成这些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“简单 SEM”功能，用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”，从而更高效、更轻松地完成 SEM 观察。
此系列有下面4种配置
| BU（基本单元） | 基本类型， 高真空条件下观察 |
| A（分析型） | 分析型，标配EDS能谱 |
| LV（低真空型） | 低真空型，适用于高、低真空操作，配置BED |
| LA（低真空分析型） | 低真空分析型，适用于高、低真空操作，配置BED和EDS |
SEM规格
| 分辨率 | 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍数 | x5 至 x300，000 |
| 电子枪 | 钨灯丝，全自动电子枪调准 |
| 加速电压 | 0.3kV~ 30kV |
| 探针电流 | 1pA~1uA |
| LV压力调节 | 10~650Pa |
| 物镜光阑 | 4档，带XY微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整 |
| 样品尺寸 | 200mm直径 x 75mm高 |
| 样品台 | 大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90o 旋转：360o |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像 |
| 图像尺寸 | 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片辅助功能 | 蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D |
| 操作支持功能 | 菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量* |
| 操作系统 | Win10 64位 |
| 显示器 | 23.8英寸触控面板 |
| 语言切换 | 日语、英语、中文（可在用户界面上操作） |
| 真空系统 | 全自动、TMP、RP |
主要可选项
1. 背散射电子探测器BED
2. 低真空混合二次电子探测器LHSED
3. 低真空二次电子检测器LVSED
4. 能谱仪EDS
5. 波谱仪WDS
6. 电子背散射衍射图样EBSD
7. 真空预抽室LLC
8. 样品台导航系统SNS
9. 大区域样品台导航系统SNSLS
10. 样品室相机CS
11. 操作面板OP2
12. LaB6电子枪
13. 3D分析软件SVM
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