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SU-70电子显微镜是一种新概念扫描电子显微镜，它采用了日立经过实地验证的 "semi-in-lens"超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。除了具有超高分辨率（1.0 nm/15 kV，1.6 nm*/1 kV）的特点外，它还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像，成分构成对比图像，超低加速电压图像*。肖特基场发射电子枪的探针电流为100 nA，可进行各种各样的分析操作（X 射线能谱仪*, X射线波谱仪*,电子背散射衍射系统*等）。
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