场发射扫描电子显微镜

1       电子光学：

1.1   发射源：高分辨肖特基场发射电子枪。

1.2   加速电压：200V – 30kV。

1.3 放大倍数：6× - 2,500,000×。

1.4 电镜内设计有压差真空系统，保护低真空/环境真空下电子枪，延长寿命。

1.5 大的电子束束流：1pA -200nA连续可调，保证能谱高效工作。

2       真空系统：

2.1   1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵+2个离子泵

2.2 集成的离子泵备用电池（用于意外断电保护）

2.2   高真空模式：＜6×10-4 Pa （测试导电样品或喷金处理样品）

2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接测试不导电样品）

2.4 环境真空模式：10 – 4000 Pa （测试含水分样品）

2.5 高真空模式下的换样时间：≤3.5min

2.6 环境真空模式下的换样时间：≤4.5min

3       分辨率：

独立的高真空专用探测器，分辨率指标

3.1   高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次电子)

3.2 高真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)

3.3 高真空分辨率1 kV下3.0 nm (二次电子)

独立的低真空专用探测器

3.4 低真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)

3.5 低真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)

3.6 低真空分辨率3 kV下3.0 nm (背散射电子)

独立环境真空专用探测器

3.7环境真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)

4       样品室：

4.1 样品室内宽：340mm

4.2 分析工作距离：10 mm

4.3   样品室红外CCD相机：1个

4.4   最多可升级12个探测器或附件接口

5       样品台：

5.1   样品台类型：五轴全自动U中心对中样品台，同时保留五轴手动功能

5.2 行程：X：110 mm，Y：110 mm ，Z：65 mm，

5.4 旋转R=n×360o，倾斜T=-15o/+90o

5.3 多功能样品台，存放标准样品台 (Ø12 mm)平面18个，斜面3个，同时提供2个断面夹具

5.4 样品安全高度≥85mm