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RST5210F型电化学工作站是在RST5200F型的成熟基础上增加四探针电阻率测试方法而来。该测试方法是检验和分析导体和半导体材料质量的一种重要的工具,适用于生产企业、高等院校及各类科研部门。
四探针电阻率测试方法与电化学工作站中的其他方法一样,软件界面友好、参数设置简单明了。启动测试后,仪器按设定的参数自动连续采集数据,在屏幕上实时显示电阻-时间曲线。测试结束后,根据电阻形态参数自动换算成电阻率及电导率,无需人工计算。配备的专用电化学工作站软件在电脑上运行,可随时显示、保存、打印数据和图形,以备存查。
本方法的设置参数有:电阻形态及尺寸、探针形状及间距、激励电流及可测电阻范围、预热时间、样点间隔、样点数量、被测器件电动势等。
测试工具可根据被测产品及测试项目的要求选购,配置不同的测试工具可满足不同材料的测试要求。
本仪器的四探针电阻率测量方法适用于分立电阻、线状电阻、面状电阻、块状电阻、直流器件内阻。也就是说,可测量导体及半导体材料的轴向电阻率、径向电阻率、扩散层薄膜电阻率。本仪器具有自动电位扣除功能,因此可测量含源直流器件内阻。
电阻形态 | 例子 |
分立电阻 | 各种类型电阻器件 |
线状电阻 | 铜线、铜棒、铝线、铝棒、铁丝、导电性纤维 |
面状电阻 | 导电覆盖膜、ITO导电膜玻璃、金属化标签、半导体外延层扩散层、 触屏薄膜、合金类箔膜、电极涂料导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜 |
块状电阻 | 金属方块电阻、金属圆块电阻、半导体材料晶块、半导体材料晶圆、 导电橡胶、导电性塑料、导电性陶瓷、导电性糊状物 |
直流器件内阻 | 锂离子电池、铅酸蓄电池、干电池、钮扣电池 |
主要技术指标:
仪器架构:恒电位仪、恒电流仪、交流阻抗频谱仪 | 电流测量精度:满量程的0.1% |
接地模式:可根据体系要求设置成实地模式或浮地模式 | 电流测量低通滤波器:自动或手动设置 |
槽压:±15V(可扩展至±22V或±30V) | 方波伏安法频率:1Hz~100kHz |
电位扫描范围:±12.8V | 交流伏安法频率:0.1Hz~10kHz |
CV最小电位增量:0.0125mV | 交流阻抗谱频率:0.00001Hz~1MHz(11个频段) |
电位控制精度:<±0.5mV | 正弦波幅度:0.01mV~12V |
电位控制噪声:<0.01mV | CA和CC脉冲宽度:0.1mS~1200S |
电位上升时间:<0.00025mS | DPV脉冲宽度:0.05mS~64S |
电位测量零位:自动校正 | IR降补偿:自动或手动设置(10Ω~1MΩ) |
电位更新及阻抗采集速率:10MHz | 多阶跃循环次数:1000次 |
电位测量低通滤波器:自动或手动设置 | 限压反馈恒流换向时间:<0.1mS |
电位测量精度:满量程的0.1% | 恒流限压循环周期:0.1S~100000S |
扫描速度:0.000001V/S~20000V/S | 脉冲电镀//最小脉宽:八相脉冲可正可负//0.05mS |
参比电极输入阻抗//电容:>1013Ω//<10pF | 电池全容量充电工步:激活、恒流、恒压、涓流 |
恒电流输出 :±500mA | 双通道高速ADC:18bit@1Msps |
输入偏置电流:<0.1pA | 数据长度:20,000,000点 |
电流测量分辨率:电流量程的0.00076%,最小0.2fA | 通氮搅拌及敲击控制输出:二路开关量信号(+5V/10mA) |
电流测量零位:自动校正 | 扩展输出:二路光电隔离数字量信号 |
电流测量量程:1pA~500mA(25档) | 储能电化学测量保护模式:极性、电压、电流、时间、链路 |
前置放大倍数:5×10×100 | 电极智能柔性保护 :电压超载、电流超载 |
电流测量灵敏度:1×10-12A/V | 与RSRSMART仪器联机,综合软件同步运行,实现毛细管电泳及电化学发光检测。 |
主要测试方法:
线性扫描伏安法LSV | 单电位阶跃计时电流法CA |
线性扫描溶出伏安法 | 单电位阶跃计时电量法CC |
线性扫描循环伏安法LCV | 多电位阶跃计时电流法 |
阶梯伏安法SV | 多电位阶跃计时电量法 |
阶梯溶出伏安法 | 单电流阶跃计时电位法CP |
阶梯循环伏安法SCV | 多电流阶跃计时电位法 |
方波伏安法SWV | 恒电位电解I-T曲线 |
方波溶出伏安法 | 恒电位电解Q-T曲线 |
方波循环伏安法SWCV | 恒电位溶出I-T曲线 |
差示脉冲伏安法DPV | 恒电位溶出Q-T曲线 |
差示脉冲溶出伏安法 | 开路电位E-T曲线OCPT |
常规脉冲伏安法NPV | 电位溶出E-T曲线 |
差示常规脉冲伏安法DNPV | 控制电流E-T曲线 |
差分脉冲电流检测 | 控制电位电解库仑法 |
双差分脉冲电流检测 | 镀锡量测定 |
三脉冲电流检测 | 塔菲尔图Tafel |
积分脉冲电流检测 | 环形扫描 |
脉冲电镀法 | 点蚀电位 |
电镀电位监测 | 电偶腐蚀 |
流体力学调制伏安法 | 电化学噪声测量 |
交流伏安法ACV | 氯离子浓度监测 |
交流溶出伏安法 | 宏电池电流监测 |
交流循环伏安法ACCV | 半电池恒流阳极极化 |
二次谐波交流伏安法 | 半电池恒流阴极极化 |
傅里叶变换交流伏安法 | 半电池恒流循环极化 |
电流扫描计时电位法 | 电池恒流充电 |
交流阻抗谱EIS | 电池恒流放电 |
交流阻抗-电位 (阻抗模-电位、辐角-电位、Mott-Schottky) | 电池恒流循环充放电 |
交流阻抗-时间 | 电池全容量分段充电 |
微分电容-电位 | 电池全容量分段放电 |
微分电容-频率 | 恒流限压快速循环充放电 |
高阻电位计 | 零阻电流计 |
器件电阻电源内阻测量 | 四探针方块电阻测量 |
线状材料电阻率测量 | 刀型探头方块电阻测量 |
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