日本进口二流体喷嘴纳米喷头半导体行业用

日本进口二流体喷嘴纳米喷头半导体行业用

在我们身边的各种电子设备中使用的半导体。近来，半导体的重要性进一步提高，与此相结合，半导体的品质提高是必须的。在半导体制造装置中，清洗硅片的半导体清洗装置是去除导致半导体质量下降的垃圾等异物的重要设备。在半导体清洗装置中，在将纯水和药剂吹到硅片上的清洗工序中，多使用1流体和2流体的喷嘴。

附着在对象物上的异物和污垢，从0.1℉的垃圾中微量的重金属原子、碳分子、油脂等各种各样，其中也有至今为止的喷雾无法清洗、除去的东西。根据异物的不同有难以除去的东西，不能充分发挥作为清洗装置的性能。另外，半导体清洗装置的内部，只有复杂而有限的空间，可以搭载的喷嘴有限。为此，本事例的顾客，寻找着①适合装置的紧凑形状，②清洗能力高确实能除去异物，③清洗时间能缩短的喷嘴。

特長

微粒化特性に優れた二流体ノズル

耐酸性、耐アルカリ性に優れたPEEK樹脂を採用

低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能

重量はわずか15g

液通路径が大きく、詰まり対策に有効

日本进口二流体喷嘴纳米喷头半导体行业用

耐食性に優れ、粘性流体の微粒化塗布に最適なPEEK型

二流体ノズル

半導体精密洗浄

純水噴霧

エッチングでの薬液使用

液晶製造装置への組込み

日本进口二流体喷嘴纳米喷头半导体行业用