1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV 实验室臭氧发生机

高温炉壳体

· 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃

· 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

     2.5 KW

电压

 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热元件

掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命）

工作温度

   1200℃

连续工作温度

  1100℃

升温速率

  ≤20 ℃

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加热区长度

400 mm

控温系统

PID30段程序化控温  

控温精度

 +/- 1 ℃

真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计

可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

· 三个浮子流量计

· 三路浮子量程分别为

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 内部安装有一混气罐 

尺寸

· 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm

· 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

· 约60kg

开门断电

· 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计

运输重量

·     200

质保期

一年质保期（不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件）

·   CE Certificate 

使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）