1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F 实验室臭氧发生机

壳体

· 采用双层壳体

· 炉膛采用多晶氧化铝纤维，减小能量损失

· 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率 

    1.75KW

电压

  AC -220V 

温度

· 工作温度：1200℃（< 1hr）

· 连续工作温度1100 ℃

· 升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区

加热区长度: 8" (200mm)

温控系统

· PID30段程序化控温

· 控温精度: +/- 1℃  

加热元件

掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命）

两路混气系统

· 两个浮子流量计量程为16 —100mL/min 

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三个机械压力表：-0.1-0.15 MP

· 混气箱上安装有一不锈钢针阀

· 后端装有φ6.35卡套接头，无需通电

· 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

· 净重: 14 lbs.

真空法兰和配件

标准真空配件:

· 一个防腐型真空计

· 一个φ6.35的卡套接头

· 两个KF25转接头

· 一个600mm的不锈钢波纹管

防腐型真空计

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

真空泵

我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售

产品净重

     100 lbs

产品尺寸

· 炉体:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

· 混气系统: 340 x 300 x 180mm

运输重量

  200lbs

开门断电

为保证使用安全，该电炉为开门断电设计

质保期

一年质保期（不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件）

质量认证

· CE认证

· 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证

· 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证   

使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）