产品详情
水冷板-真空箱氦检漏回收系统
回收系统部分
真空箱部分
本设备适用对水冷板(以下简称工件)进行干式检漏。主要具有以下功能：
对被检工件抽真空保压检大漏；
对被检工件充注氦气；
真空箱法氦质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；
回收并循环使用氦气；
PLC控制，触摸屏操作，自动检测。
系统技术参数
检测漏率：5×10-8Pa.m3/S；
真空箱工作节拍：180S/两箱，每箱放2件，含人工操作时间20s；
检漏仪开检(真空箱内)压力：≤20pa；
氦气回收率：≧98%；
工件抽空真空度：≤1000pa；
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