电子工业反渗透设备

电子工业反渗透设备工艺流程
　　1、预处理•反渗透－水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对

　　2、预处理•一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

　　3、预处理•二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

　　4、预处理•二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（工艺）

电子工业反渗透设备应用领域
　　•半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
　　•超纯材料和超纯化学试剂；
　　•实验室和中试车间
　　•汽车、家电表面抛光处理；
　　•其他高科技精微产品。

电子工业反渗透设备水质标准
　　(符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)