扫描电子显微镜 FlexSEM 1000-扫描电子显微镜

产品详情

“*的SEM更为紧凑”

宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。

全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

特点

• 紧凑型设计，分辨率为4 nm*1

• 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器(UVD*2)，实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

• 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片

• 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野

• 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2

*1设置在桌面时，分离主机和电源箱

*2选配

规格

项目	内容
	FlexSEM 1000	FlexSEM 1000 II
分辨率*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～40 mm、Y：0～50 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360°	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360°
样品尺寸	直径80 mm
样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高敏感度低真空检测器（UVD）能量色散型X射线检测器（EDS）	高敏感度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Zigzag（连续视野图像导入功能）	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）

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