YAMATO气体等离子体刻蚀机PR500/510

YAMATO气体等离子体刻蚀机PR500/510
PR500 / 510是广泛用于这种应用，生产半导体和分析工作的气体等离子体装置。它拥有出色的可操作性和安全性，具有自动调谐系统作为标准组件及其他功能。

YAMATO气体等离子体刻蚀机特点：
• 它具有一个紧凑的设计，具有小尺寸的高频发生器和一个振荡部分集成在一起的腔室的一部分。
• 随着直径215毫米大口径室，单位可以处理大的测试样品。

YAMATO气体等离子体刻蚀机产品规格:

产品规格

模型 PR500 PR510 法 桶型直等离子 控制部分 高频输出 max 500W 振荡频率 13.56 MHz 输出阻抗 50Ω 调整方法 自动调谐 仪器 输出功率表（0〜600W） 反射波功率表（0〜300W） 真空压力表，热电偶式 流量计，针型阀集成型，2台 定时器 0.1秒。到999H 进气口 1/4“不锈钢，2入口 电源（50 / 60Hz） AC 100 / 220V，单相，2千伏安 反应部分 反应室 石英制成的，φ215×305毫米 电极结构 聚光型，四分割 控制系统 自动减压，自动阀泄漏 触摸屏与PLC控制 配管材料 SUS，铁弗龙 外形尺寸（W×D×嗯） 438×520×760 520×630×760 重量 约38千克 约60公斤 YAMATO气体等离子体刻蚀机标准配件 连接电缆：1配套 真空润滑脂：1件 O形圈的反应室：1件。 YAMATO气体等离子体刻蚀机可选配件 帧的晶片，2，3，4，5，6英寸 多用途倾斜的框架 铝蚀刻隧道，架