便携式四探针电阻率测试仪

概述
便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。
它主要由电器测量部份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。
为减小体积，本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分先材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω•cm标准样片的测量瓿差不超过±3%，在此范围内达到国家标准一级机的水平。
测量范围：
可测量 电阻率：0.01～199.9Ω•cm。
可测方块电阻：0.1～1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。
（2）恒流源：
输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档
10mA量程：0.1～1mA 连续可调
10mA量程：1mA ～10mA连续可调
恒流精度：各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
（3） 直流数字电压表
测量范围：0～199.9mv
灵敏度：100μv
准确度：0.2%（±2个字）
（4） 供电电源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W
（5） 使用环境：
相对湿度≤80%
（6） 重量、体积
重量：2.2 公斤
体积：宽210×高100×深240（mm）
（7）KD探针头
压痕直径：30/50μm
间距：1.00mm
探针合力：8±1N
针材：TC