ITO膜厚测试仪

• 系统特点：

■ 非接触测量，避免对被测样品造成损伤。

■ 采用高精密传感器，保证测量数据的精准性。

■ 采用高性能采集卡保证数据采集的准确及稳定性。

       ■ 采用高性能主机配以强大的控制软件对数据进行精准计算和分析。

• 技术指标：

• 测量尺寸：400mm×500mm（可定制）
• 探头X/Y轴定位分辨率：±2μm
• 探头Z(垂直)轴定位分辨率：±0.2μm
• 被测基片厚度范围：50μm～500μm
• 测量精度：0.5μm
• 测试分辨率：0.1μm
• zui大测试速度：1片/30S

• 设备外形：

 约：900mm（宽）×800mm（深）×600mm（高）

• 输入源：

电源：AC 220V  50Hz     功率： <500W

真空：-100KPa