CRBR-外延炉尾气净化器

CRBR型外延炉尾气净化器是在我公司引进美国*技术以及结合我公司十几年的设计生产经验而研发出的新型外延炉尾气净化器，是迄今为止、zui可靠、zui低成本的Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气处理设备。

CRBR型外延炉尾气净化器的成功研发，解决了SiO₂粉尘在进气口的堵塞问题这一行业难题；由于该产品采用了本公司研制的*进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘的装置，使得该洗涤器的一次维护时间可长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。

与同行业相关洗涤净化器相比，本公司研制的CRB型外延炉为其净化器有着诸多性能：

净化效率高达99.99%

使用成本低于同类产品

操作维护简单方便

进气口设置科学合理

维护停机时间大大缩短

负压稳定性好

安全可靠性更高

通过使用商反馈数据表明：即使在zui苛刻的pi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD工艺条件下使用，经过洗涤器的HCl废气在洗涤器的排放口仍在1ppm以下，SiO₂粉尘去除率在99.99%以上，水溶性气体的清除率高达99.99%以上。

应用范围：光伏、电子、太阳能、半导体等行业